[发明专利]一种供气均匀性可调的进气喷嘴无效
| 申请号： | 200510126290.5 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1850347A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 胡谦 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14;C23C16/513;C23F4/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 司君智 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及供气均匀性可调的进气喷嘴，包括内芯和套装在内芯外的外套，所述内芯的中心具有中心出气通孔，其侧面开有第一进气孔，所述外套的中心开有通孔，该通孔与内芯的外壁之间具有间隙，形成边缘出气通道，该边缘出气通道的出气口为喇叭口形或锥形的圆环，外套的侧面开有第二进气孔，所述第一进气孔和第二进气孔与工艺气体的比例调节阀联接。该喷嘴采用中心区域和边缘区域双区道供气，使晶片表面发生的化学反应速度差异较小，速率均匀，可提高晶片的质量，有效且经济的制造、安装和维修。并且该喷嘴结构简单，便于加工制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供气 均匀 可调 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种供气均匀性可调的进气喷嘴，其特征是包括内芯(3)和套装在内芯(3)外的外套(2)，两者用“O”形密封圈密封联接，所述内芯(3)的中心具有中心出气通孔(11)，其侧面开有第一进气孔(9)，所述外套(2)的中心开有通孔，该通孔与内芯(3)的外壁之间具有间隙，形成边缘出气通道，该边缘出气通道的出气口为喇叭口形或锥形的圆环(12)，外套(2)的侧面开有第二进气孔(10)，所述第一进气孔(9)和第二进气孔(10)与工艺气体的比例调节阀(5)联接。
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