[发明专利]一种半导体加工数据的处理方法有效
| 申请号： | 200510126371.5 | 申请日： | 2005-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1851585A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 赵昂 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G05B23/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡世英 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体加工数据的处理方法，包括：1)将半导体加工数据分为实时记录数据和状态监控数据两种。2)在工艺处理过程中，对于即实时记录数据，PMC和/或TMC每隔一定的时间间隔主动向CTC发送，或者由CTC定时主动向PMC和/或TMC查询。3)对于仅表示设备的瞬时状态的用于CTC判断调整系统工作的工艺数据，即状态监控数据，由CTC在需要时向PMC和/或TMC查询。由于对于状态监控数据，CTC在不请求时，PMC或TMC并不向CTC发送这些数据信息，网络传输的数据量大大减少，从而减轻了网络传输负载，提高了网络传输速率，在很大程度上提高半导体加工设备处理数据的效率，进而提高整个半导体加工制造的生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 加工 数据 处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种半导体加工数据的处理方法，其特征在于：1)将半导体加工数据分为实时记录数据和状态监控数据两种；2)对于即实时记录数据，工艺模块控制器和/或传输模块控制器每隔一定的时间间隔向集群设备控制器发送，或者由集群设备控制器每隔一定的时间间隔主动向工艺模块控制器和/或传输模块控制器查询；3)对于状态监控数据，由集群设备控制器在需要时向工艺模块控制器和/或传输模块控制器查询。
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