[发明专利]一种等离子体内电子温度测量装置有效
| 申请号： | 200510126389.5 | 申请日： | 2005-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1851420A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈卓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J5/46 | 分类号： | G01J5/46;G01J5/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡世英 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体刻蚀控制技术。本发明提出一种等离子体内电子温度测量装置，其中包括光谱仪和通用计算机，其中光谱仪获得等离子体的光谱信息并输出到通用计算机；通用计算机接收等离子体的光谱信息，计算等离子体内电子的温度。采用本发明可以实时获得等离子体内电子温度、进行等离子体状态的监控。这种方法节约时间，提高生产效率，而且可以及时的诊断故障的发生。而且采用本发明的装置对等离子体没有干扰，对工艺的效果没有干扰，提高了测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 体内 电子 温度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种等离子体内电子温度测量装置，其特征在于包括光谱仪和通用计算机，其中光谱仪获得等离子体的光谱信息并输出到通用计算机；通用计算机接收等离子体的光谱信息，计算等离子体内电子的温度。
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