[发明专利]用于静电卡盘的信号传输装置有效
| 申请号： | 200510126443.6 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1849033A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 姚立强 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王常风 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体刻蚀设备。本发明用于静电卡盘的信号传输装置包括一端与静电卡盘连接的射频导通体，射频导通体的另一端部设有射频导通体接头，所述射频导通体外设有屏蔽管，接头端部设有屏蔽端盖，所述射频导通体与屏蔽管之间设有若干绝缘环。本发明的用于静电卡盘的信号传输装置的优点和积极效果在于：本发明中连接射频信号发生装置和等离子体反应室，结构紧凑，拆装方便，多次拆装不容易损坏；射频导通体不随射频信号功率的改变而改变，适用范围广。由于单独设置了屏蔽端盖和屏蔽管，对射频信号具有良好的屏蔽作用，使系统安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 静电 卡盘 信号 传输 装置 | ||
【主权项】：
1.用于静电卡盘的信号传输装置，其特征在于包括一端与静电卡盘连接的射频导通体(3)，射频导通体(3)的另一端部设有射频导通体接头(9)，所述射频导通体(3)外设有屏蔽管，接头(9)端部设有屏蔽端盖(8)，所述射频导通体(3)与屏蔽管之间设有若干绝缘环(4)。
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