[发明专利]一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法有效
| 申请号： | 200510126444.0 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1865884A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 熊坤 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王常风 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体刻蚀领域，本发明提供了一种测量刻蚀机气路柜漏率的方法，本发明的方法的漏率检测程序启动后，自动将冲洗、封闭气路柜，并设定质量流量校验计的工作参数，最后得出气路柜的漏率值，本发明的技术方案的测量过程全部由计算机完成，使使用者能便捷的获得漏率值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 刻蚀 机气路柜漏率 方法 | ||
【主权项】：
1、一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：设计一个漏率检测程序，该程序运行于与一质量流量校验计连接的计算机上，该质量流量校验计与气路柜连接，所述漏率检测程序执行如下步骤，打开气路柜的所有进气口和出气口，向气路柜内通入压力稳定的气体，冲洗气路柜内的所有气路，至该气路柜内气路的压力处于稳定状态；启动质量流量校验计，执行漏率检查；检查完毕，输出漏率值。
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