[发明专利]空气供应系统无效
| 申请号： | 200510126634.2 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1831440A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 郭博菘;陈勇达;周政隆;吴东立;黄铭文 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台的一无尘室之中，其包括有一外气空调单元、一进气导管、一二次空调箱或外气空调箱、一第一空气输送管、一第二空气输送管以及一排气导管。该进气导管系连接于该无尘室外部与该外气空调单元。该第一空气输送管连接于该外气空调单元与该二次空调箱之间，用于将流经该外气空调单元的空气输送至该二次空调箱之中。该第二空气输送管连接于该二次空调箱与该重要制程机台之间，用以将流经该二次空调箱的空气输送至该重要制程机台之中。采用本发明可大幅提高其第一化学过滤器的使用寿命，并通过压力调节装置的运转，本发明的空气供应系统的操作可以更为稳定及方便。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 供应 系统 | ||
【主权项】：
1.一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台的一无尘室之中，包括：一外气空调单元；一进气导管，连接于该无尘室外部与该外气空调单元，用于将该无尘室外部的空气输送至该外气空调单元之中；一二次空调箱，具有一第一化学过滤器；一第一空气输送管，连接于该外气空调单元与该二次空调箱之间，用于将流经该外气空调单元的空气输送至该二次空调箱之中，其中，输送至该二次空调箱中的空气中的微分子污染物由该第一化学过滤器过滤去除；以及一第二空气输送管，连接于该二次空调箱与该重要制程机台之间，用于将流经该二次空调箱的该第一化学过滤器的空气输送至该重要制程机台之中。
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