[发明专利]显影液成分调整方法及其显影系统有效
| 申请号： | 200510126744.9 | 申请日： | 2005-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1760765A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李易昌;林奇峰;徐启源 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种显影系统，包括一第一显影机台、一第二显影机台、一连通管以及一废液槽。第一显影机台包括一第一显影槽、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上。第二显影机台包括一第二显影槽、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上。连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽。废液槽连接该第一废液管以及该第二废液管。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 成分 调整 方法 及其 显影 系统 | ||
【主权项】：
1.一种显影系统，包括：一第一显影机台，其包括一第一显影槽、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上；一第二显影机台，其包括一第二显影槽、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上；一连通管，连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽；以及一废液槽，连接该第一废液管以及该第二废液管。
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