[发明专利]蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置有效
| 申请号： | 200510126935.5 | 申请日： | 2005-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1782120A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 安宰弘;李星昊;郑锡宪;赵源锡;康熙哲 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 具备 装置 | ||
【主权项】：
1、一种蒸发源，其特征在于，包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质，并且局部开口；喷嘴部，其具有与所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分连结并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其包围所述喷嘴部的至少一部分的角部；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。
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