[发明专利]基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置无效
| 申请号： | 200510127066.8 | 申请日： | 2005-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1835658A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 松田直喜 | 申请（专利权）人： | 小松电子株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/26 | 分类号： | H05K3/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板清洗装置，即使基板表面一部分或整体带静电，也可以容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。本发明的基板清洗装置具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，所述辊刷由导电性刷构成。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 具有 供给 | ||
【主权项】：
1、一种基板清洗装置，其具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，其特征在于，所述辊刷是导电性刷。
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