[发明专利]用于制造薄膜光波导的方法无效

专利信息
申请号: 200510127071.9 申请日: 2005-11-30
公开(公告)号: CN1782758A 公开(公告)日: 2006-06-07
发明(设计)人: 宗和范;清水裕介;网野一郎;望月周 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: G02B6/25 分类号: G02B6/25;G02B6/10
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 马高平;杨梧
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种利用一薄膜结构来制造薄膜光波导的方法,该薄膜结构具有形成在其中的一个或多个光波导件,该方法包括:从所述薄膜结构切割出各光波导件,由此形成具有一光入射端面和一光出射端面的光波导,其中,用于产生所述光入口端面和所述光发射端面的切割利用激光来进行,用于产生除所述端面以外的切割面的切割通过用冲模冲压来进行。
搜索关键词: 用于 制造 薄膜 波导 方法
【主权项】:
1.一种利用一薄膜结构来制造薄膜光波导的方法,该薄膜结构具有形成在其中的一个或多个光波导件,该方法包括:从所述薄膜结构切割出各光波导件,由此形成具有一光入射端面和一光出射端面的光波导,其中,用于产生所述光入口端面和所述光发射端面的切割利用激光来进行,用于产生除所述端面以外的切割面的切割通过用冲模冲压来进行。
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