[发明专利]用于制造薄膜光波导的方法无效
申请号: | 200510127071.9 | 申请日: | 2005-11-30 |
公开(公告)号: | CN1782758A | 公开(公告)日: | 2006-06-07 |
发明(设计)人: | 宗和范;清水裕介;网野一郎;望月周 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G02B6/25 | 分类号: | G02B6/25;G02B6/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马高平;杨梧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种利用一薄膜结构来制造薄膜光波导的方法,该薄膜结构具有形成在其中的一个或多个光波导件,该方法包括:从所述薄膜结构切割出各光波导件,由此形成具有一光入射端面和一光出射端面的光波导,其中,用于产生所述光入口端面和所述光发射端面的切割利用激光来进行,用于产生除所述端面以外的切割面的切割通过用冲模冲压来进行。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 薄膜 波导 方法 | ||
【主权项】:
1.一种利用一薄膜结构来制造薄膜光波导的方法,该薄膜结构具有形成在其中的一个或多个光波导件,该方法包括:从所述薄膜结构切割出各光波导件,由此形成具有一光入射端面和一光出射端面的光波导,其中,用于产生所述光入口端面和所述光发射端面的切割利用激光来进行,用于产生除所述端面以外的切割面的切割通过用冲模冲压来进行。
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