[发明专利]双孔式激光束散角测试装置

摘要

双孔式激光束散角测试装置，本发明涉及一种激光的束散角测试装置。它克服了现有测量装置测量准平行激光的束散角精确度低的缺陷。它由光学天线(1)、圆盘状的双孔光阑(2)、长焦平行光管(3)、CCD探测器(4)和带有图像采集卡的计算机(5)组成，圆盘状的双孔光阑(2)的盘体表面上开有两个圆孔，两个圆孔对称设置在圆盘状的双孔光阑(2)轴心线的两侧，光学天线(1)、圆盘状的双孔光阑(2)、长焦平行光管(3)和CCD探测器(4)依次序同轴心设置，本发明用CCD来探测光斑，并由图像处理系统对光斑中心位置进行准确计算，光斑间距探测精度误差将小于1μm。配合长焦平行光管，激光发射束散角的测试精度CCD探测器(4)可达到0.1μrad的数量级。

主权项

1.双孔式激光束散角测试装置，其特征在于它由光学天线(1)、圆盘状的双孔光阑(2)、长焦平行光管(3)、CCD探测器(4)和带有图像采集卡的计算机(5)组成，圆盘状的双孔光阑(2)的盘体表面上开有两个圆孔(2-1)，两个圆孔(2-1)对称设置在圆盘状的双孔光阑(2)轴心线的两侧，光学天线(1)、圆盘状的双孔光阑(2)、长焦平行光管(3)和CCD探测器(4)依次序同轴心设置，CCD探测器(4)的成像表面位于长焦平行光管(3)的焦平面上，CCD探测器(4)的信号输出端连接带有图像采集卡的计算机(5)的信号输入端。