[发明专利]软模及其制造方法有效
| 申请号： | 200510127522.9 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1885168A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡基成;曹奎哲;金珍郁;李昌熙 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种软模及其制造方法。首先形成在基板上具有图案的母模。第一液态高聚物前体形成在母模上并随后被部分固化。具有高UV透射率的支撑膜粘接在部分固化的高聚物上。用连接剂处理粘接的支撑膜和部分固化的高聚物，并且在部分固化的高聚物和支撑膜上形成第二液态高聚物前体。第二液态高聚物前体和部分固化的高聚物被随后固化以形成模。完全固化的模从母模剥离以形成在一个表面上具有预定形状的软模。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种软模，包括：具有95％或更高的紫外线透射率的支撑膜；以及包围该支撑膜的模，该模具有包含图案的表面。
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