[发明专利]光敏性聚酰亚胺树脂和组合物与制备方法无效
申请号: | 200510127630.6 | 申请日: | 2005-12-06 |
公开(公告)号: | CN1978529A | 公开(公告)日: | 2007-06-13 |
发明(设计)人: | 袁向文;邱昭武;付寅;张连起 | 申请(专利权)人: | 北京波米科技有限公司 |
主分类号: | C08L79/08 | 分类号: | C08L79/08;C08K5/18;G03F7/004 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭鸿禧;邱玲 |
地址: | 100085北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种光敏性聚酰亚胺树脂及其组合物与制备方法,该树脂组合物包含:10-70重量份的光敏聚酰亚胺树脂、100-1000重量份的有机溶剂、0.1-50重量份的光敏助剂;该光敏性聚酰亚胺树脂由含氟芳香族有机二酸二(甲基)丙烯酸酯、芳香族二胺及其混合物、分子量调节剂制备而成。该光敏性聚酰亚胺树脂组合物还包含0-100重量份的交联助剂。该光敏性聚酰亚胺树脂组合物还包含0-50重量份的助粘剂。该光敏性聚酰亚胺树脂经紫外线(i,g线)曝光后发生光固化交联反应;将非曝光区用有机或水性溶剂溶解后,可得到高分辨率的图形。经加热固化后形成的聚酰亚胺层膜具有低介电常数和低吸水率及优良的热稳定性、机械性能及光学性能,可应用于芯片保护钝化膜、多层电路互连的层间介电膜等。 | ||
搜索关键词: | 光敏 聚酰亚胺 树脂 组合 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种光敏性聚酰亚胺组合物,其特征在于该组合物包含:(1)10-70重量份的光敏聚酰亚胺树脂;(2)100-1000重量份的有机溶剂;(3)0.1-50重量份的光敏助剂;其中所述的光敏性聚酰亚胺树脂由(a)含氟芳香族有机二酸二(甲基)丙烯酸酯;(b)芳香族二胺及其混合物;(c)分子量调节剂制备而成。
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