[发明专利]薄膜晶体管阵列面板及其制造方法有效
申请号: | 200510127641.4 | 申请日: | 2005-12-06 |
公开(公告)号: | CN1808710A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | 朴弘植 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/482 | 分类号: | H01L23/482;H01L23/52;H01L27/12;H01L21/84;H01L21/768;H01L21/283 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李伟 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种薄膜晶体管阵列面板,包括:绝缘基板;栅极线,形成在绝缘基板上;栅极绝缘层,形成在栅极线上;漏电极和具有源电极的数据线,形成在栅极绝缘层上,其中,漏电极面对源电极,且在其间具有间隙;以及像素电极,连接至漏电极。栅极线、数据线、以及漏电极中的至少一个包括由导电氧化物制成的第一导电层和邻近第一导电层沉积的银的第二导电层。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 面板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于显示装置的信号线,包括:第一导电层,由在低于150℃的温度沉积的导电氧化物制成;以及第二导电层,含有银,其中,所述第二导电层邻近所述第一导电层被沉积。
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