[发明专利]卡匣、机械手臂和工艺设备无效
| 申请号： | 200510127719.2 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1978287A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘大有 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/48 | 分类号： | B65D85/48;B65D85/86;B65G49/07;H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种卡匣，其适于容置至少一个基板。卡匣包括壳体和至少一个传送单元。此传送单元适于设置于壳体内，且传送单元包括多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中，这些滚轴适用于承载基板，而此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接。当磁性导螺杆转动时便会带动相对应的滚轴转动使基板移动。此外，本发明亦披露一种机械手臂和工艺设备。 | ||
| 搜索关键词： | 卡匣 机械 手臂 工艺设备 | ||
【主权项】：
1.一种卡匣，适于容置至少一个基板，其特征是该卡匣包括：壳体；至少一个传送单元，设置于该壳体内，该传送单元包括：多个滚轴，适于承载该基板；以及至少一个磁性导螺杆，该磁性导螺杆与上述这些滚轴中的一个电连接，在该磁性导螺杆转动时，该磁性导螺杆带动对应的该滚轴转动，以使该基板移动。
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