[发明专利]光斑取像装置与方法无效
申请号: | 200510127768.6 | 申请日: | 2005-12-06 |
公开(公告)号: | CN1979394A | 公开(公告)日: | 2007-06-13 |
发明(设计)人: | 黄宜裕;陈铭;王茂燃;黄文政;马心一 | 申请(专利权)人: | 中山科学研究院第五研究所 |
主分类号: | G06F3/033 | 分类号: | G06F3/033 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁挥;徐金国 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种光斑取像装置与方法,由光源发射一高相干性光,且高相干性光照射表面时,进而产生散射光,此散射光通过限光件,因限光件的孔径效应使散射光发生衍射效应而产生衍射光,此衍射光彼此干涉而产生光斑,并且因为限光件的阻挡作用,限制了散射光进入传感器的入射视角进而降低光斑移动时的变形量,最后传感器撷取此光斑而成为光斑图,连续对比此光斑图,可辨识光斑的移动方向及大小。所以本发明利用了衍射、干涉效应及限制了散射光入射视角,使光斑的尺寸可变大,并且可降低光斑的变形量,使光斑的图像清晰,容易辨别。可见,本发明的光斑取像装置与方法,稳定并且灵敏。 | ||
搜索关键词: | 光斑 装置 方法 | ||
【主权项】:
1、一种光斑取像装置,其特征在于,包含:一光源,发射一高相干性光,且该高相干性光照射一表面,进而产生一个以上散射光;一限光件,使上述散射光产生一个以上衍射光,且该衍射光彼此干涉而产生一个以上光斑;及一传感器,接受上述光斑,而产生一第一光斑图,当该限光件与该传感器相对该表面移动时,而产生一第二光斑图,经由对比该第一光斑图与该第二光斑图,以判断该限光件与该传感器的移动方向与移动距离。
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