[发明专利]检验阵列衬底的方法和装置

摘要

一种用于检验有源矩阵显示面板阵列衬底的方法，所述方法包括：一第一步骤，其在一晶体管导电的同时将一电压V₁施加到所述晶体管的数据端子，使所述晶体管进入一不导电状态，将一电压V₁+ΔV施加到所述数据端子，使所述晶体管进入一导电状态，并测量电荷ΔQ；一第二步骤，其当所述晶体管不导电且所述数据端子电压是V₃时将一电压V₀施加到所述数据端子，并测量当所述晶体管导电时流经所述晶体管的一电荷Q₁；一第三步骤，其当所述晶体管不导电且所述数据端子电压是V₄时将一电压V₀′施加到所述数据端子，并测量当所述晶体管导电时流动的电荷Q₂；和一第四步骤，其基于ΔV、ΔQ、V₀、V₀′、V₃、V₄、Q₁和Q₂来确定电容器的电容。

主权项

1.一种用于检验一有源矩阵显示面板中的一阵列衬底的方法，所述阵列衬底具有：一开关晶体管，其具有一数据端子、一源极端子和一栅极端子；一连接到所述晶体管的所述源极端子的像素驱动电路；和一连接到所述像素驱动电路和所述源极端子的像素电压存储电容器，所述方法包含：一第一步骤，其在所述晶体管处于一导电状态的同时将一电压V1施加到所述数据端子，使所述晶体管进入一不导电状态，在所述晶体管处于所述不导电状态的同时将一不同电压V1+ΔV施加到所述数据端子，使所述晶体管进入所述导电状态，并测量一流经所述晶体管的电荷量ΔQ；一第二步骤，其当所述晶体管处于所述不导电状态时将一电压V0施加到所述数据端子，施加到所述数据端子的所述电压是一不同于所述电压V0的电压V3，且所述电容器的一电位是VC；并测量当所述晶体管被带入所述导电状态时一流经所述晶体管的电荷量Q1；一第三步骤，其当所述晶体管处于所述不导电状态时将一电压V0′施加到所述数据端子，而施加到所述数据端子的所述电压是一不同于所述电压V3的电压V4，且所述电容器的所述电位是VC；并随后测量当所述晶体管被带入所述导电状态时一流经所述晶体管的电荷量Q2；和一第四步骤，其基于ΔV、ΔQ、V0、V0′、V3、V4、Q1和Q2的值来确定所述电容器的一电容CS。