[发明专利]制造液体排出头的方法以及液体排出头

摘要

根据本发明，提供有一种能够进行高精度打印和记录及具有高可靠性的喷墨记录头、和一种制造该头的方法。本发明的喷墨记录头包括：元件基片，在其表面上形成墨水排出能量产生元件，并且其由硅制成；和薄且扁平的无机基片，其中在墨水排出能量产生元件的上方垂直布置的部分中形成墨水排出端口。此外，该头包括感光材料层，该感光材料层把元件基片粘结到无机基片上并且要构成形成墨水流动路径的壁，该墨水流动路径与墨水排出端口连通。无机基片层叠在设有感光材料层的元件基片上，并且此后设有墨水排出端口。

主权项

1.一种制造排出液体以进行记录的液体排出头的方法，包括：第一感光材料层形成步骤，在第一基片上形成由第一感光材料构成的层，该第一基片具有液体排出能量产生元件，该液体排出能量产生元件产生用来排出液体的能量；潜像形成步骤，在第一感光材料层上进行图案曝光，以形成流动路径图案的潜像；第二基片层叠步骤，把由无机材料构成的扁平第二基片层叠在其上已经形成潜像的感光材料层上；排出端口形成步骤，在第二基片中形成排出端口；及流动路径形成步骤，显影在潜像形成步骤中已经形成并且要构成流动路径的图案，并且形成流动路径。