[发明专利]扫描型曝光用光源单元无效
| 申请号： | 200510128663.2 | 申请日： | 2005-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN1782885A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 三宅荣一 | 申请（专利权）人： | 三荣技研股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种小型轻量、高可靠性的扫描型曝光用光源单元。本发明的扫描型曝光用光源单元，在对于基板上的曝光面平行地相对移动的同时对曝光面进行光照射。光源单元，具备多个光源。多个光源，沿横切相对移动的方向而排列。每一个的光源，包括发光单元(1)。发光单元(1)，至少具有一个半导体面发光元件(5)。使多个半导体面发光元件(5)集合为六角形，如果使发出的光朝光学六角柱(6)入射，则在曝光面上可获得照度均匀的六角形的照射区域。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 曝光 用光 单元 | ||
【主权项】：
1、一种扫描型曝光用光源单元，在相对于基板上的曝光面平行地相对移动的同时对该曝光面进行光照射的，其中：包括沿横切所述相对移动方向而排列的多个光源；所述光源的每一个，具备发光单元，该发光单元至少具有一个半导体面发光元件。
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