[发明专利]光束照射装置无效

专利信息
申请号: 200510128921.7 申请日: 2005-12-01
公开(公告)号: CN1808174A 公开(公告)日: 2006-07-26
发明(设计)人: 山田真人;寺崎均;土屋洋一;市浦秀一;樋口正广;市桥干夫;后藤阳一郎;前纳良昭 申请(专利权)人: 三洋电机株式会社
主分类号: G01S7/48 分类号: G01S7/48
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李香兰
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 来自半导体激光器(100)的激光,入射到由透镜执行元件(300)支撑的照射透镜。已通过照射透镜的激光,根据透镜执行元件(300)的驱动,在Y-Z平面方向上其出射角度变化。由此,实施在目标领域中的激光的扫描。已通过照射透镜的激光,通过光束分离器(400)其一部分被反射而被分离。分离的光,通过聚光透镜(500)在PSD(600)上被聚焦。DSP控制电路(10),以来自PSD600的信号为基准,将已通过照射透镜的激光的扫描位置进行监视。因此,在照射位置从扫描轨道偏离时,控制执行元件驱动电路(40),将照射位置牵引到扫描轨道。根据该光束照射装置,在简单朴素的构成下、能实现顺利且稳定的扫描动作。
搜索关键词: 光束 照射 装置
【主权项】:
1、一种光束照射装置,其中具有:光源,其将激光出射;透镜,其将从该光源出射的激光朝目标区域照射;变位机构,其使所述透镜至少朝垂直于所述激光的光轴的方向变位;扫描机构,其驱动所述变位机构而使所述激光在所述目标区域内扫描;分离机构,其将已通过所述透镜的激光的一部分进行分离;检测机构,其将通过分离机构分离的激光进行受光的同时检测出在受光面上的所述分离光的受光位置;和修正机构,其基于通过该检测机构检测出的受光位置而修正在所述目标区域上照射的激光的扫描位置。
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