[发明专利]抛光用组合物及使用该组合物的抛光方法无效
| 申请号： | 200510129056.8 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1782014A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 星星佐知子;户松正利 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民;董红曼 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光用组合物，它含有：抛光材料、通过醛糖的氧化所得的酸及其盐中至少一种的醛糖衍生物和水。该抛光用组合物尤其用于抛光氧化物单晶片的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光用组合物，其特征在于，所述抛光用组合物含有：抛光材料，通过醛糖的氧化所得的酸及其盐中至少一种的醛糖衍生物，和水。
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