[发明专利]固体摄像装置

摘要

一种固体摄像装置，在检测电容部(104)和周围的晶体管的电容中，最大的电容是复位晶体管的电容。为了减小该电容，有效的方法是减小复位晶体管的沟道宽度，在复位晶体管的沟道、有源区和元件隔离区的边界线(100)附近，分布有提供极性与沟道相反的载流子的离子种(111)，从而能够减小有效沟道宽度。

主权项

1、一种固体摄像装置，其特征在于：在半导体基板上具有：将入射光光电转换为信号电荷的光电二极管、用于传输上述光电二极管内存储的信号电荷的传输晶体管、用于存储由上述传输晶体管传输的信号电荷的检测电容部、以及用于把上述检测电容部内存储的信号电荷排出到漏极的复位晶体管；该固体摄像装置具有下述结构：至少在上述复位晶体管的栅电极下的沟道的侧壁上，分布有提供极性与上述沟道相反的载流子的离子种。