[发明专利]半导体结构及其工艺方法无效

专利信息
申请号: 200510129707.3 申请日: 2005-12-01
公开(公告)号: CN1979817A 公开(公告)日: 2007-06-13
发明(设计)人: 吴炳昌 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L23/00 分类号: H01L23/00;H01L23/485;H01L23/525;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/66
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种半导体结构,此半导体结构包括一衬底、一焊垫、一熔丝结构与一保护层。衬底具有焊垫区与熔丝区。焊垫配置于焊垫区的衬底中。熔丝结构配置于熔丝区的衬底中。保护层配置于衬底上,覆盖焊垫区与熔丝区,以避免焊垫氧化。
搜索关键词: 半导体 结构 及其 工艺 方法
【主权项】:
1.一种半导体结构,包括:一衬底,该衬底具有一焊垫区与一熔丝区;一焊垫,配置于该焊垫区的该衬底中;一熔丝结构,配置于该熔丝区的该衬底中;以及一保护层,配置于该衬底上,覆盖该焊垫区与该熔丝区。
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