[发明专利]电子显微镜用的半封闭式观测环境无效
| 申请号： | 200510130410.9 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1979747A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 赵治宇;谢文俊 | 申请（专利权）人： | 李炳寰 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/26;G01N13/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有：一壳体，内部是以隔板分隔形成一容室，以及形成位于该容室下方的一气室，以及形成位于该气室下方的一缓冲室，该容室的顶面具有至少一观视孔设于该壳体，底面具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的底面具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该二观视孔与该气孔以及该外孔系同轴，且位于上方的该观视孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔；由此可达到提供电子显微镜的观测环境，并且仍能具有清淅的观测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 封闭式 观测 环境 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有：一壳体，内部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及位于该容室下方的一气室，以及位于该气室下方的至少一缓冲室，该容室的顶面具有至少一观视孔设于该壳体，且该容室的底面具有至少一观视孔设于该隔板并连通于该气室，该气室的底面具有至少一气孔设于另一隔板并连通于该缓冲室，该缓冲室的底面具有至少一外孔设于该壳体并连通于外界，该容室上下方的二该观视孔与该气孔以及该外孔为同轴，且位于上方的该观视孔封设一薄膜；该壳体于该气室的一侧设有至少一注气孔，又该壳体于该缓冲室的一侧设有至少一抽气孔。
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