[发明专利]双位相复合超分辨光瞳滤波方法与装置有效
| 申请号： | 200510130464.5 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1786776A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 谭久彬;刘俭;金鹏;赵晨光 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 150080*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，包括将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；对第一光束进行位相调制；对第二光束进行位相调制；位相调制通过第二位相调制板实现，所述第一、第二位相调制板的结构由其归一化位相分布函数确定；使所述第一光束和第二光束通过聚焦物镜会聚；使所述第一光束和第二光束聚焦于同一焦平面上的步骤；本发明的有益效果在于，不需要制作透过率调制板就可以实现透过率调制，避免了光束遮挡、光束整形、透过率渐变掩模板调制过程中生成杂散光的问题；、避免光束整形过程中，破坏光束准直性和能量均匀性；实现透过率调制的同时，还保留有位相设计自由度，因而可以独立实现振幅型超分辨、位相型超分辨及复振幅型超分辨，具有设计灵活的优点。本发明的还提供一种实现上述双位相复合超分辨光瞳滤波方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 位相 复合 分辨 滤波 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双位相复合超分辨光瞳滤波方法，其特征在于：包括以下步骤：a.将直写光束分成相互正交的第一光束和第二光束；其中，第一光束为透射光束，第二光束为反射光束；b.对第一光束进行位相调制；其中，位相调制通过第一位相调制板实现，第一位相调制板的结构由其归一化位相分布函数确定；c.对第二光束进行位相调制；位相调制通过第二位相调制板实现，第二位相调制板的结构由其归一化位相分布函数确定；d.使所述第一光束和第二光束会聚成；e.使所述第一光束和第二光束聚焦于同一焦平面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510130464.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
