[发明专利]具有用于提供涂布溶液的装置的狭缝涂布机有效
申请号: | 200510130592.X | 申请日: | 2005-12-14 |
公开(公告)号: | CN1796000A | 公开(公告)日: | 2006-07-05 |
发明(设计)人: | 权五晙;赵康一 | 申请(专利权)人: | LG.菲利浦LCD株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05B1/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 具有用于提供涂布溶液的装置的狭缝涂布机。一种狭缝涂布机,包括通过利用狭缝喷嘴的涂布方法提供涂布溶液的装置,该装置被构造为最小化涂布溶液的污染,利用过滤功能,并将受控量的光敏溶液提供至狭缝喷嘴。所述狭缝涂布机还包括:工作台,待处理物体安装于其上;狭缝喷嘴单元,其将涂布溶液涂在待处理物体的表面上;以及涂布溶液提供装置,包括存储涂布溶液的存储容器、将所述存储容器中存储的涂布溶液提供至所述狭缝喷嘴单元的泵、以及与所述泵和所述存储容器流体相通的缓冲容器。 | ||
搜索关键词: | 具有 用于 提供 溶液 装置 狭缝 涂布机 | ||
【主权项】:
1、一种狭缝涂布机,包括:工作台,待处理物体安装于其上;狭缝喷嘴单元,其被构造为将涂布溶液涂在物体表面上;以及涂布溶液提供装置,其包括被构造为存储涂布溶液的存储容器、将存储容器中存储的涂布溶液提供至所述狭缝喷嘴单元的泵、以及与所述泵和所述存储容器流体相通的密封缓冲容器,其中所述提供装置被构造为基本均匀地保持所述泵的压力并去除涂布溶液中的气泡。
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