[发明专利]一种消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差的方法无效
申请号: | 200510130792.5 | 申请日: | 2005-12-30 |
公开(公告)号: | CN1793805A | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
发明(设计)人: | 李恩德;胡诗杰;戴云;张雨东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 刘秀娟;成金玉 |
地址: | 610209*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差的方法,其特点在于由下列步骤实现:(1)根据Shack-Hartmann波前传感器使用的光束分割元件的类型及布局,计算误差修正矩阵;(2)计算误差修正矩阵的逆矩阵;(3)对Shack-Hartmann波前传感器实际测量的结果(Zernike系数)作用误差修正逆矩阵。本发明在不改变实验步骤的基础上,对波前测量结果作用离线计算的模型误差修正矩阵以消除模型误差,只需离线计算一次模型误差修正矩阵,就能有效地消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差和提高Shack-Hartmann波前传感器的测量精度,且具有普适性,适用于各种波前分割元件(如:微透镜阵列、微棱镜阵列),也适用于各种探测器件(如:CCD、CMOS)等。 | ||
搜索关键词: | 一种 消除 shack hartmann 传感器 模型 误差 方法 | ||
【主权项】:
1、一种消除Shack-Hartmann波前传感器模型误差的方法,其特点在于由下列步骤实现:(1)根据Shack-Hartmann波前传感器使用的光束分割元件的类型及布局,首先计算误差修正矩阵;(2)计算误差修正矩阵的逆矩阵;(3)对Shack-Hartmann波前传感器实际测量的结果作用误差修正矩阵。
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