[发明专利]一种超细氧化锌纳米线及其制备方法

摘要

本发明提供了一种超细氧化锌纳米线及其制备方法，属于半导体纳米材料技术领域。该纳米线为非取向ZnO纳米线，具有六方纤锌矿结构。制备工艺为：将n型重掺杂硅片分别在丙酮和酒精中超声清洗25～30分钟，然后用电子束蒸发的方法在硅片上蒸镀一层0.5～2nm厚的金催化剂薄膜。用镀金膜后的硅片作为接收衬底，高纯锌粉为蒸发源；衬底和蒸发源均放在玻璃片上，然后将玻璃片放入管式炉中，管式炉抽真空洗气后，充入高纯Ar₂作为保护气氛，以10～20℃/分钟的升温速率将反应腔的温度升至460～540℃，反应100～150分钟后，在氩气保护下降至室温。优点在于：实现了纳米ZnO应用中的可控性和大面积低成本合成，避免了由于阵列引起的屏蔽效应。

主权项

1、一种超细氧化锌纳米线，其特征在于：该纳米线为非取向ZnO纳米线，ZnO纳米线具有六方纤维锌矿结构，纳米线直径为10～20nm，长度为3～14μm。