[发明专利]喷液装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200510132099.1 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1986230A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 毛庆宜;吴永祥;陈来成 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种喷液装置及其制造方法，此喷液装置包括堆叠式流道结构与致动元件。其中，堆叠式流道结构包括第一基板与第二二基板，第二基板设置于第一基板上。而且，第一基板及第二基板之上、下表面分别具有多个盲孔，且部分的盲孔是互相贯通，因而构成此喷液装置之压力腔、储液槽、出液流道、入液流道与喷孔。另外，致动元件是设置于第二基板之上表面上，用以对压力腔内之液体施压，而使此液体由喷孔喷出。上述盲孔通过半导体工艺所形成，因此此喷液装置可批次生产，以节省工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷液装置，其特征是包括：堆叠式流道结构，包括：第一基板，具有第一上表面与第一下表面，且该第一上表面与该第一下表面分别具有多个第一盲孔，其中该第一上表面之部分第一盲孔与该第一下表面之部分第一盲孔彼此相通；第二基板，设置于该第一基板上，该第二基板具有第二上表面与第二下表面，其中该第二下表面与该第一基板之该第一上表面接触，且该第二上表面与该第二下表面分别具有多个第二盲孔，而该第二上表面之部分第二盲孔与该第二下表面之部分第二盲孔彼此相通；以及致动元件，设置于该第二基板之该第二上表面上。
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