[发明专利]微结构单向弯拉疲劳试验装置

摘要

本发明公开了一种微结构单向弯拉疲劳试验装置，该装置在一个悬置振动块的一侧设有驱动梳齿对，在悬置振动块的另一侧设有检测振动幅度的检测梳齿对；驱动梳齿对和检测梳齿对的外侧壁通过锚定层固定在硅基底上并分别与连接以产生周期性的静电力的驱动电极和连接感测电路的检测电极连接；其悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；驱动电极连接功率放大器输出的探针；检测电极由探针引出，接入振幅测量电路后与终端控制设备的输入端连接；应用于微纳米技术基础研究领域作用在MEMS系统结构材料多晶硅疲劳特性的研究的微结构单向弯拉疲劳试验装置。

主权项

1、一种微结构单向弯拉疲劳试验装置，其特征在于：在一个悬置振动块的一侧至少设有一个由驱动梳齿对，在悬置振动块的另一侧至少设有一个检测振动幅度的检测梳齿对；上述的驱动梳齿对和检测梳齿对的外侧固定块通过锚定层固定在硅基底上并分别与连接以产生周期性的静电力的驱动电极和连接感测两侧梳齿之间电容变化的感测电路的检测电极连接；上述驱动梳齿和检测梳齿夹合的悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；上述装置的工作状态由控制终端进行控制；终端控制的输出端连接信号发生器的输入端；信号发生器将产生的信号送入功率放大器放大；上述驱动电极连接功率放大器输出的探针；上述检测电极由探针引出，接入振幅测量电路输入端；该检测电路的输出端连接控制终端的输入端。