[发明专利]准共光程外差干涉位移测量系统有效
| 申请号： | 200510132985.4 | 申请日： | 2005-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1991297A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 许正治;吴乾埼;陈朝荣;王振宇;温博浚;翁汉甫 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准共光程外差干涉位移测量系统，包含：一外差光源，分为一参考光与一信号光；一光栅，使该信号光入射该光栅而产生一绕射光；一偏极分光镜，使该绕射光分为一第一绕射光与一第二绕射光；一个以上偏振板，使该参考光穿过该些偏振板而产生一参考干涉光，且该第一绕射光穿过该些偏振板而产生一第一干涉光，而该第二绕射光穿过该些偏振板而产生一第二干涉光；一信号处理装置，量得该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光的相位差而可得该光栅的位移量。本发明具有外差干涉相位测量的高灵敏度，且具有光学架构不受外在环境扰动的高稳定性，以直接测量因位移所造成的相位变化量以达到高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光程 外差 干涉 位移 测量 系统 | ||
【主权项】：
1、一种准共光程外差干涉位移测量系统，其特征在于，包含：一外差光源，分为一参考光与一信号光；一光栅，使该信号光入射该光栅而产生一绕射光；一偏极分光镜，使该绕射光分为一第一绕射光与一第二绕射光；一个以上偏振板，使该参考光穿过该些偏振板而产生一参考干涉光，且该第一绕射光穿过该些偏振板而产生一第一干涉光，而该第二绕射光穿过该些偏振板而产生一第二干涉光；及一信号处理装置，接受该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光，当该光栅移动时，该信号处理装置量得该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光的相位差而可得该光栅的位移量。
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