[发明专利]微液滴喷印装置及方法有效

专利信息
申请号: 200510132988.8 申请日: 2005-12-31
公开(公告)号: CN1990238A 公开(公告)日: 2007-07-04
发明(设计)人: 伍国华;郑兆凯;林智坚 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: B41J2/01 分类号: B41J2/01;B41J25/304;B41J11/00;B41J13/10;B41J2/165;B41J29/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 梁挥;徐金国
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种微液滴喷印装置及方法,用以喷印微组件,其包含有喷印模块、运动平台模块、影像检测模块、温度控制模块与喷印头维护模块,喷印头维护模块用以清洁喷印头,待喷印基板则被承载于运动平台模块,并通过影像检测模块以侦测喷印头与基板的相对位置及相对角度,通过温度控制模块以调控基板的表面温度,使得基板与微液滴达到温度均匀,而能够改善微液滴喷印后薄膜成型的平坦性,并且可配合不同基板的方法需求,达到平台的多任务功能,提高作业效率。
搜索关键词: 微液滴喷印 装置 方法
【主权项】:
1、一种微液滴喷印装置,其特征在于,包含有:一喷印模块,包含一具有多个喷孔的喷印头,用以喷印微液滴,使其分布于一基板;所述喷印模块具有一姿态调整模块,用以调整所述喷印头与基板的平行度与距离;一运动平台模块,用以承载所述基板,使得所述基板可相对于所述喷印头移动;所述运动平台模块具有一X-Y轴运动装置以控制所述基版的移动,另具有一旋转模块位于所述X-Y轴运动装置上,以控制所述基版的旋转;一影像检测模块,用以检测所述喷印模块与基板的相对位置与所述喷印模块的喷印状况;以及一温度控制模块,设置于所述运动平台模块,用以控制所述基板表面温度。
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