[发明专利]有机EL用基板及其制造方法无效
申请号: | 200510133848.2 | 申请日: | 2005-12-22 |
公开(公告)号: | CN1815749A | 公开(公告)日: | 2006-08-09 |
发明(设计)人: | 增市干雄;藤本好博 | 申请(专利权)人: | 大日本网目版制造株式会社 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/82;H01L21/027;G03F7/00;H05B33/12;H05B33/10 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高龙鑫;王玉双 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种向形成在基板上的间隔物间供给有机EL材料时、即使是大基板尺寸也能防止有机EL材料在相邻间隔物间混色的有机EL用基板及其制造方法。对在基板(1)上通过涂敷形成的非疏油性感光材料层(2)和疏油性感光材料层(3),对应于间隔物形成区域而用单一波长(I线)的光同时曝光后进行显影。其结果,形成具有由非疏油性材料构成的下层部(31)和由疏油性材料构成的上层部(32)组成的两层构造的间隔物(300)。因此可阻止向间隔物(300)供给的有机EL材料越过间隔物(300)顶部而移动,防止有机EL材料的混色。另外,由于形成有机层的间隔物下层部(31)由非疏油性材料形成,所以有机层剖面轮廓不会因表面张力而变化。 | ||
搜索关键词: | 有机 el 用基板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机EL用基板,在其表面具有对应于规定的图案而形成的间隔物,其特征在于,上述间隔物的至少顶部表面是由疏液性感光材料形成的。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的