[发明专利]门阀装置、处理系统及密封部件的更换方法

摘要

本发明提供一种不向大气开放搬送室也能更换密封部件的门阀装置。在安装于处理腔室(4)的搬入开口、开闭与真空状态的搬送室(6)之间的门阀装置(12)中，包括：可开闭搬入开口而装配的阀体(44)；可装卸地安装于阀体的表面、与搬入开口周围的装配面气密接触的密封部件(66)；以距离该密封部件规定的间隔而包围设置在密封部件的外周的维护用密封部件(68)；维护用开口(72)，在装配阀体时、在密封部件露出状态下，成为由维护用密封部件可气密地密封的大小；可装卸地气密堵塞所述维护用开口的外侧的维护用开闭盖(74)；和能够使阀体在搬入开口与维护用开口之间移动而安装的阀体驱动机构(46)。

主权项

1.一种门阀装置，其特征在于：是安装在用于对被处理体实施规定处理的处理腔室的搬入开口、使所述被处理体从真空状态的搬送室侧通过、并开闭所述搬入开口的门阀装置，其中，包括：能够开闭所述搬入开口而安装的阀体；可装卸地设置于所述阀体的表面，在由所述阀体开闭所述搬入开口时气密地与装配的装配面接触的密封部件；在该密封部件的外周、以距所述密封部件规定的间隔而包围设置的维护用密封部件；维护用开口，形成为在装配所述阀体时、在所述密封部件露出的状态下，通过所述维护用密封部件而能够气密地密封的大小；可装卸地气密堵塞所述维护用开口的维护用开闭盖；和能够使所述阀体在所述搬入开口与所述维护用开口之间移动而安装的阀体驱动机构。