[发明专利]利用多物镜的自动光学检测无效
| 申请号： | 200510134032.1 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1815204A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 吉拉德·阿尔莫格;布赖恩·C·博尔特;奥代德·阿尔诺内;波阿斯·凯南;布德·蒂罗什;迈克尔·科利斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用每一照相机都具有的多物镜图像扫描模块的自动光学检测(AOI)装置及技术。一扫描机构包括多种光学组件，以依次从每一多物镜引导光学信号至相应的照相机。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 物镜 自动 光学 检测 | ||
【主权项】：
1.一种自动光学检测系统，其至少包括：至少一照相机；以及至少一图像扫描模块，其包括多个物镜模块，所述物镜模块是经排列而具有在扫描过程中可覆盖物品一部分的视野，以及一可移动的图像选择镜机构，以依次从所述物镜模块的视野选择和传送图像至所述至少一照相机。
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