[发明专利]电子器件、其制造系统、制造方法及电光装置有效
申请号: | 200510134562.6 | 申请日: | 2005-12-16 |
公开(公告)号: | CN1790618A | 公开(公告)日: | 2006-06-21 |
发明(设计)人: | 内山宪治 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;G08C17/02 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 陈海红;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够按每一制品等地收集环境负载数据的电子器件制造系统、电子器件的制造方法、电子器件及电光装置。其具备:处理多个收存有多个工件(26)的批(L),具有:按每批单位计测收存于多个批(L)的各批的多个工件(26)的处理时间的时间计测部(16),计测对应于按每批单位所计测到的多个工件(26)的处理时间的环境信息的环境信息计测部(16),和可以发送接收的通信部(14)的处理单元(80);和对应于多个批(L)的各批而设置,可以与处理单元(80)的通信部(14)进行发送接收,具有接收、存储批(L)的多个工件(26)的处理时间、环境信息的存储部的工件信息管理单元(30)。 | ||
搜索关键词: | 电子器件 制造 系统 方法 电光 装置 | ||
【主权项】:
1.一种电子器件制造系统,其特征在于,具备:处理多个由多个工件所构成的批,具有:按每批单位对构成上述多个批的各批的上述多个工件的处理时间进行计测的时间计测部,对与按上述每批单位所计测到的上述多个工件的上述处理时间对应的环境信息进行计测的环境信息计测部,和可以发送接收的通信部的处理单元;和对应于上述多个批的各批而设置,可以与上述处理单元的上述通信部进行发送接收,具有接收、存储上述批的上述多个工件的上述处理时间、环境信息的存储部的工件信息管理单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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