[发明专利]显影溶液回收处理方法以及显影溶液回收处理装置

摘要

一种显影溶液回收处理方法，以将显影溶液中碱化合物控制在一适当浓度，该显影溶液是重复溶洗复数基板上的欲去除的光阻剂，包含：以一计数单元来计数已显影的基板而获得一计数值的计数步骤，及以一控制单元来就计数值，适度调控一含有碱化合物补充液的补充单元的补充步骤；本发明亦请求一显影溶液回收处理装置，包含有一计数单元、一补充单元，及一控制单元；由此装置的运作而可有精确掌控该显影溶液浓度值、降低成本、延缓显影溶液劣化等功效。

主权项

1.一种显影溶液回收处理装置，是装设在一用以运行涂布有光阻剂以待显影的各基板的显影装置上；该显影装置包含有一用以运行各基板的运行单元、一设置于该运行单元下方并容装含有一碱化合物的显影溶液的集液槽，及连通该集液槽并使该显影溶液循环地至各基板上以洗除各基板上的光阻剂的回流单元；其特征在于，该显影溶液回收处理装置则包含有：一计数单元，用以计数经显影的基板数量而获得一计数值；一补充单元，是连接于该集液糟，并提供一含碱化合物的补充液至该集液槽；以及一控制单元，是连控该计数单元及该补充单元，并依据该计数值来操控该补充单元的该含碱化合物的补充液供应至该集液槽的量。