[发明专利]一种兼有干涉效应和等离子振荡效应的传感器及其用途无效
| 申请号： | 200510135209.X | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1991338A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吕国伟;程波林;周岳亮;沈鸿;陈正豪;何萌;金奎娟;吕惠宾;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/45;H01L49/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种融会了光的法布里－珀罗干涉效应和纳米结构金薄膜的表面等离子振荡效应的生物或化学分子的传感器，能够实现金薄膜表面上亚单层分子的灵敏度的探测。该传感器包括一抛光平整的基底，依次沉积在其上的第一金属薄膜层、透明介质层和第二金属薄膜层；所述的第一金属薄膜层是由光学半透明的金属组成的膜层，厚度为10～1000nm；所述的透明介质层是由透明的固态介质组成的膜层，厚度在亚微米到数百微米级，该膜层做为法布里—珀罗干涉腔体；所述的第二金属薄膜层是一具有纳米结构的金的薄膜层，其厚度为3～100nm，该膜层有明显的表面等离子振荡特性。该传感器可以对生物分子或化学分子等进行快速、灵敏的检测分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼有 干涉 效应 等离子 振荡 传感器 及其 用途 | ||
【主权项】：
1、一种兼有干涉效应和等离子振荡效应的传感器，包括一基底，依次沉积在其上的第一金属薄膜层、透明介质层和第二金属薄膜层，其特征在于：所述的第一金属薄膜层是由光学半透明的金属组成的膜层，厚度为10～1000nm；所述的透明介质层是由透明的固态介质组成的膜层，厚度在亚微米到数百微米级；该膜层做为法布里-珀罗干涉腔体透明介质；第二金属薄膜层是一具有纳米结构的金的薄膜层，其厚度为3～100nm；该膜层有明显的表面等离子振荡特性。
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