[发明专利]液体喷射头的制造方法无效
| 申请号： | 200510136119.2 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1796133A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 小野章吾 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/135 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造方法，该方法包括：在包括PAD电极的衬底区域中形成保护层；在包括已形成能量产生元件的衬底区域的区域中形成可溶性树脂层，以用于形成液体腔；在覆盖所述可溶性树脂层的区域中以及在于所述电极之上形成开口的区域中形成树脂涂层；在所述能量产生元件之上的树脂涂层中形成开口以形成喷嘴；将所述衬底浸在溶解液体中以溶解所述可溶性树脂层；以及，在所述可溶性树脂层溶解之后去除所述保护层。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头包括：形成在衬底上的能量产生元件，用于向液体施加能量；容纳所述能量产生元件和将要被喷射的液体的液体腔；用于喷射容纳在所述液体腔中的液体的喷嘴；以及，形成在所述衬底上的电极，用于实现与外部的电连接，所述方法包括以下步骤：在包括所述电极的衬底区域中形成保护层；在包括已形成有所述能量产生元件的衬底区域的区域中形成可溶性树脂层，以用于形成所述液体腔；在覆盖所述可溶性树脂层的区域中以及在于所述电极之上形成开口的区域中形成树脂涂层；在所述能量产生元件之上的树脂涂层中形成开口以形成所述喷嘴；将所述衬底浸在溶解液体中以溶解所述可溶性树脂层；以及在所述可溶性树脂层溶解之后去除所述保护层。
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