[发明专利]一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构有效
申请号: | 200510136317.9 | 申请日: | 2005-12-31 |
公开(公告)号: | CN1992098A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 陈怀壁;刘耀红;唐华平;唐传祥;张化一;张东生;阎忻水;高峰;高建军;韩运生;贾玮;印炜;张丹;刘晋升 | 申请(专利权)人: | 清华大学;清华同方威视技术股份有限公司 |
主分类号: | G21K5/00 | 分类号: | G21K5/00;G21K5/02;H05H9/00 |
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地址: | 100083北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构,属于辐射加工技术领域。它包括加速管、漂移管、扫描电磁铁及带离子泵的扫描盒,扫描盒的顶部放置扫描电磁铁并与漂移管通过法兰盘二连接,漂移管的上端通过法兰盘一与加速管连接。其结构特点是,加速管和扫描盒由支架定位与固定,法兰盘二、法兰盘一均采用薄边法兰以焊接方式连接,加速管采用带排气口的驻波加速结构。本发明同现有技术相比,提高了加速器运行的稳定性和密封性,使整体体积变小,并可直接在高温排气炉内整体排气,省去漫长的加速管真空排气老练过程。更具备工程实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 密封 真空 电子束 加速 扫描 一体化 结构 | ||
【主权项】:
1、一种全密封高真空电子束加速与扫描的一体化结构,它包括加速管(1)、漂移管(3)、扫描电磁铁(5)及带离子泵(6)的扫描盒(7),扫描盒(7)的顶部环绕放置扫描电磁铁(5)并与漂移管(3)通过法兰盘二(4)连接,扫描盒(7)的底部通过法兰盘三(10)紧固由钛箔材料构成的引出窗(9),漂移管(3)的上端通过法兰盘一(2)与加速管(1)连接,其特征在于,所述加速管(1)和扫描盒(7)之间通过支架(8)定位与固定,法兰盘二(4)、法兰盘一(2)均采用薄边法兰以焊接方式连接,加速管(1)采用带排气口(11)的驻波加速结构。
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