[发明专利]形成焊盘电极及液晶显示器件的方法有效
| 申请号： | 200510136576.1 | 申请日： | 2005-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1847940A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 吴载映 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/136;G03F7/20;H01L21/027;G03F7/004;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无需使用额外光幅射设备来形成焊盘电极的简易方法。该方法包括在基板上形成栅焊盘，在基板表面上形成栅绝缘层，在栅绝缘层上形成数据焊盘，在基板表面上形成钝化层，在栅焊盘上的栅绝缘层和钝化层中形成第一接触孔，在数据焊盘上的钝化层中形成第二接触孔，在基板表面上涂敷导电光刻胶，并且通过灰化导电光刻胶在第一接触孔内形成栅焊盘，并在第二接触孔内形成数据焊盘电极。焊盘电极是由灰化导电光刻胶的简易方法形成的，由此可降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 电极 液晶显示 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成液晶显示器件的焊盘电极的方法，包括：在基板上形成栅焊盘；在包括栅焊盘的基板表面上形成栅绝缘层；在栅绝缘层上形成数据焊盘；在包括数据焊盘的基板表面上形成钝化层；在栅焊盘上的栅绝缘层和钝化层中形成第一接触孔；在数据焊盘上的钝化层中形成第二接触孔；在包括第一接触孔和第二接触孔的基板表面上涂敷导电光刻胶；以及通过灰化导电光刻胶在第一接触孔内形成栅焊盘电极，并在第二接触孔内形成数据焊盘电极。
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