[发明专利]一种控制纳米氧化锌阵列材料形态的的方法

摘要

本发明属于新材料合成的范畴，是纳米材料科学与无机合成化学的交叉学科，涉及定向氧化锌纳米结构的控制合成方法。本发明采用气相沉积法在较低的温度下由锌粉直接合成氧化锌纳米棒阵列，利用有机物的热解特性调节反应器中反应组分的浓度分布实现纳米氧化锌的形态控制。本发明的效果和益处是采用简单的办法实现多种氧化锌纳米结构的选择性可控制备，得到的氧化锌纳米材料，在微电子器件、光电器件等众多领域有广泛的用途。

主权项

1、一种氧化锌阵列材料形态控制的方法，其特征在于，通过简单的化学气相沉积过程，利用有机聚合物的诱导作用实现氧化锌阵列材料的形态控制，其方法步骤是：(1)以锌粉为锌源，锌粉的纯锌含量高于99.2％，根据目标氧化锌阵列纳米材料的形态要求确定诱导剂的加入位置和处理方式，有机聚合物诱导剂加入位置为锌源处或基片上，处理方式为热处理；将原料装入石英容器中，然后将其置入由石英反应器、管式炉及气体输送调节系统组成的化学气相沉积装置中，沿气流方向，基片放置于锌源后1-5cm处。(2)制备反应开始前，用纯度为99.9％以上的氩气充分吹扫反应器，使反应器中气氛至少被彻底置换5次以上，氩气的工作流速介于0.1-0.5m/min之间，所使用的氧化剂氧气的加入量的体积与总气量的体积比为1-5％，氧气的纯度为99.9％以上，其中氧气加入口位于锌源的后面，程序控制反应炉的温度，并以40-80℃/min的速度快速升至反应温度450-800℃，保持预定的反应温度不变，反应时间为5-30min，反应结束后，保持反应炉内的气氛不变，冷却至室温后，收集产物。