[发明专利]基于应力补偿的无热阵列波导光栅有效
| 申请号： | 200510137106.7 | 申请日： | 2005-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1794026A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 赵秀丽;刘文 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 朱必武 |
| 地址： | 430074湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种基于应力补偿的无热阵列波导光栅，它包括AWG芯片和粘贴在其上的金属板，其特征在于：所述的金属板是单层金属板，金属板的热膨胀系数大于衬底硅的热膨胀系数，在高于AWG工作的环境温度中，将单层金属板粘贴在AWG芯片上。采用上述的结构得到无热的AWG性能，具有应力板加工和制作简单，成本低，阵列波导光栅可靠性和重复性好，有利于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 应力 补偿 阵列 波导 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种基于应力补偿的无热阵列波导光栅，它包括AWG芯片和粘贴在其上的金属板，其特征在于：所述的金属板是单层金属板，金属板的热膨胀系数大于衬底硅的热膨胀系数，在高于AWG工作的环境温度中，将单层金属板粘贴在AWG芯片上。
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