[发明专利]防止基板变形无效
| 申请号： | 200510137310.9 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1805154A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 具在本;申铉秀;徐旼彻;牟然坤 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种防止由于热应力或沉积应力而变形的基板，包括：设置在该基板一个表面上的变形防止层。该基板可以包括设置在该基板的一个表面上的薄膜晶体管和变形防止层，该变形防止层设置在该基板的另一个表面上并包括至少一层。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 变形 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管基板，包括：设置在该基板的一个表面上的薄膜晶体管；和变形防止层，其设置在该基板的另一个表面上并包括至少一层。
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