[发明专利]用于二氧化硅或金属硅酸盐薄膜的前体无效
| 申请号： | 200510137359.4 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1821251A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 雷新建;R·鲁肯斯 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07F7/02 | 分类号： | C07F7/02;C23C16/40;C23C16/04;C23C16/44;H01L21/31 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘健;邹雪梅 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种选自双(叔丁氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔丁氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇及其混合物的组合物；其在基底上形成金属或准金属硅酸盐层的应用以及混合烷氧基甲硅烷醇的合成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二氧化硅 金属 硅酸盐 薄膜 | ||
【主权项】：
1、一种组合物，该组合物选自双(叔丁氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔丁氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇及其混合物。
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