[发明专利]镀膜夹具及其镀膜载盘有效
| 申请号： | 200510137417.3 | 申请日： | 2005-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1990904A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吕明生;施进德;吴清勋 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种镀膜夹具及其镀膜载盘，该镀膜夹具包括多个镀膜载盘，该等镀膜载盘可独立使用或形成一直立式的堆栈，每一载盘具有一盘体，在盘体的表面形成一波浪状的构造，且盘体与水平面具有一既定的倾斜角，待镀的工件是置于盘体表面上波浪状构造的凹处。通过该镀膜夹具，可以在有限的镀膜区域中大量提升镀膜工件的数量，并且维持良好的镀膜品质及其均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 夹具 及其 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜载盘，包括一盘体，该盘体的表面是形成一波浪状的构造，待镀的工件是置于该盘体表面上波浪状构造的凹处。
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