[发明专利]试片夹持机械手末端执行器

摘要

本发明的机械手(16)末端执行器(10，110，210)能干净利索地将半导体晶片(12)在晶片盒(14)和加工站之间转移。末端执行器包括近端和远端支承块(24，26，124，126)，它们的垫块和挡部分(32，34，132，134)或者靠晶片周边的接触或者在晶片周边向里的环形禁区(30)内支托和夹持晶片。主动接触头(50，150，220)可由真空驱动活塞(52，152)在收缩的晶片装载位置和将晶片推向远端支承块的伸出的位置之间运动，以夹在晶片的边缘或其禁区。末端执行器还包括光纤光透射传感器(90，102，202，214)，用于确定各种晶片表面、边缘、厚度，倾斜度及厚度参数。传感器提供机械手以伸出和升高二个定位数据的保障办法，迅速准确地从晶片盒中存放的许多间隔很小的晶片取出和放回晶片，本方法有效地防末端执行器和晶片之间发生意外接触，确保晶片干净可靠地夹在边缘或其禁区内。

主权项

1.一种利用末端执行器确定具有周边的试片的位置的方法，包括：提供一个有一主体的末端执行器，该主体可操作地连接于光源和光接收器，该光源和光接收器分别有间隔开的光源光路和光接收器光路孔，光束在它们之间沿光透射通道传播；使试片和主体产生相对运动并在空间会合；配合所述相对运动将试片定位以使试片与光透射通道相交从而遮断光束；及随着光束的遮断，建立试片周边相对于空间基准的位置。