[发明专利]掩模框和使掩模固定在掩模框上的方法无效
| 申请号： | 200510137658.8 | 申请日： | 2005-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1824824A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 康熙哲;金振圭 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L21/203;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭鸿禧;常桂珍 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模框，具有图案区域和限定图案区域的掩模边缘的掩模固定在该掩模框上，该掩模框包括：通口，与图案区域对应；基底，与掩模边缘对应。基底设置有在其内形成的排放孔，真空泵与排放孔结合，从而使掩模固定到掩模框而没有损坏形成在掩模的图案区域上的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模框 使掩模 固定 掩模框上 方法 | ||
【主权项】：
1、一种掩模框，具有图案区域和限定所述图案区域的掩模边缘的掩模固定在所述掩模框上，所述掩模框包括：通口，与所述掩模的所述图案区域对应；基底，与所述掩模边缘对应，其中，所述基底设置有排放孔，所述排放孔形成在所述基底内，并且空气通过所述排放孔排放。
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