[发明专利]划片机晶圆自动识别对准装置及其方法

摘要

一种划片机晶圆自动识别对准装置及其方法，包括以下六个部分：一个数字CCD影像采集机；一个数字图像采集卡，对其输入上述数字CCD影像采集机采集的晶圆特征图形视频信号；一个接收上述数字图像采集卡视频信号的计算机，对其输入预先存储标准晶圆特征图形模板数据，并输入图像分析系统的程序，该系统将接收的晶圆特征图形视频信号数据与预存标准模板灰度数据之间的相似度进行比较；一个运动控制卡，对其输入上述计算机图像分析结果的数据；一个伺服驱动机构，对其输入上述运动控制卡的脉冲信号和方向信号；一个在X、Y二维方向均可移动调整的工作台。大大地提高了划片机的自动化程度，提高了加工效率以及对准精度。

主权项

1.一种划片机晶圆自动识别对准装置，其特征在于包括以下六个部分：一个采集晶圆特征图像的数字CCD影像采集机；一个与计算机主机插接的数字图像采集卡，对其输入上述数字CCD影像采集机采集的晶圆特征图形视频信号，该数字图像采集卡对图像进行去噪声削波、二值化、特征图形提取、根据特征图形进行匹配查找预处理；一个接收上述数字图像采集卡视频信号的计算机，对其输入预先存储晶圆特征标记的标准模板数据，并输入图像分析系统的程序，该系统将接收的晶圆圆特征图形视频信号数据与预存标准模板灰度特征标记数据之间的相似度进行比较，根据分析结果规划运动轨迹，将运动轨迹转化成运动控制卡的指令语言；一个与计算机主机插接的运动控制卡，对其输入上述计算机图像分析结果的指令语言数据信号；一个伺服驱动机构，对其输入上述运动控制卡输出的脉冲信号和方向信号；一个在X、Y二维方向均可移动调整的工作台，该工作台与上述伺服驱动机构的输出轴连接。