[实用新型]晶圆探针卡的电性连接结构无效
| 申请号： | 200520002196.4 | 申请日： | 2005-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN2779408Y | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 董玟昌;郭吉存;吴政勋;陈达群 | 申请（专利权）人： | 锐捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 南霆 |
| 地址： | 台湾省桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆探针卡的电性连接结构，包括一内部设有内联机电路的基板、以及一与晶圆探针卡的微机电刚性探针构成电性连接的衔接板，其中该基板与该衔接板之间没有使用导线相连，是以一种兼具电性连接功能及缓冲功能的导电机制设置在该基板与该衔接板的中间，该导电机制除了构成基板与衔接板之间的电性连接结构之外，还构成晶圆探针卡的缓冲机构；此外，该导电机制可促成该衔接板可以做水平微调，且藉此可达成校正和微调微机电刚性探针平面度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 连接 结构 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆探针卡的电性连接结构，包括一内部设有内联机电路的基板、以及一与晶圆探针卡的微机电刚性探针构成电性连接的衔接板，其特征在于：所述基板与该衔接板的中间设有一导电机制，且所述基板与所述衔接板之间以所述导电机制构成电性连接，而且所述导电机制是使得所述衔接板可以做水平微调的晶圆探针卡的缓冲机构。
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